高频高压电源是一种高压开关电源，其开关频率大约在50kHz左右，中频在2kHz左右，工频为50/60Hz，高频高压电源由于频率高，变压器可以做得很小。

高频高压电源的优点是：体积小，精度高，动态响应快，技术含量高，随着原材料价格的飞涨和技术发展，高频高压电源在价格上越来越具优势。

1、高频电源的转换效率高

单相直流电源的输出功率与输入功率之比的转换效率低于70%，三相高频高压直流电源输出功率与输入功率之比的转换效率达到95%，可提高转换效率25%，大大减少电网供电的负荷空损率，有利于节约能源。

2、输入供电平衡

三相高频直流电源输入采用三相供电，每相输入的电流相等，输入供电平衡，输入的电流小；单相高压直流电源采用单相供电，相对输入的电流大，无法保证三相供电的平衡。如：以800mA/72KV 的高压电源为例：

三相的一次电流为：92A；

单相的一次电流为：248A；

减少初级供电电流：50%以上。

3、输出的直流平均电压高

单相电源输出的电压脉动范围大于25%，线性度差，容易出现阻抗不匹配，极易触发火花放电，造成电晕电流低，难以提高除尘效率；

三相高频电源输出的电压波动小于5%，其直流平均电压接近峰值电压，线性度好，施加到电除尘器上的直流电压比单相电源要高得多，从而提高除尘效率。

高压脉冲电源是在高压直流电源的基础上增加了开关电路，从而输出脉冲幅度可调、脉冲宽度可调、脉冲频率可调、脉冲输出个数可设定的一种高压电源。

高压脉冲电源的种类有很多，按高压脉冲电源的实现的方法其可分为机械开关式，高压固态开关式，和Marx网络（Marx发生器）等。其中高压固态开关式，和Marx网络可实现纳秒级的窄脉冲和很高的脉冲频率。

高压脉冲电源可广泛用于空气净化，放电等离子烧结、高压充电、高压放电、制作纳米材料、处理染料废水等多种场合。

高压脉冲电源的技术参数除了脉冲宽度、重复频率，在放电场合单次放电能量也是非常重要的参数。对于一些特殊场合，高压脉冲电源的前后沿要求陡直，达到纳秒级，就需要非常先进的开关器件和控制有效的储能电路。